放電源的準確定位能夠極大的方便缺陷元件的查找及放電類型的診斷，提高檢修工作效率。放電源的定位往往和干擾信號的排除綜合進行。特高頻法的主要定位是通過以下幾種處理方式，有幅值比較法、時差法、定相法、三維空間定位法等。
(1)幅值比較定位法。
其基本思路是通過傳感器，在距離放電源最近時所檢測出來信號最強。當在多處位置同時檢測到放電信號時，信號強度最大的點即可判定為距離放電源最近的位置。但幅值比較法實施的精準性往往會因為現(xiàn)場檢測條件的局限，在放電信號較強的時候，在相對比較小傳感器布點范圍內不容易看到信號強度的顯著性變化；一旦設備外部有干擾信號時，將通過傳感器的不同位置傳遞出類似于強度的信號，從而存在干擾定位的情況，結果會造成難以分辨設備外部或內部放電的問題。(2)時差定位法。
其基本思路是通過傳感器在距放電源最近時檢測到時域信號最超前。由于特高頻信號傳播速度很快，不同位置處傳感器接收的信號時差在ns范圍內，因而時差定位法只適用于帶有高速數(shù)字示波器的帶電檢測裝置，其原理如圖所示。通過在GIS上兩個相鄰的測點位置處分別布置特高頻傳感器，然后依據(jù)兩個傳感器捕捉到放電信號時差不同，通過下面公式就會得到放電源的位置信息。
x=1/2(L-cΔt)
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